M7163
平面磨床導(dǎo)軌設(shè)計(jì)。導(dǎo)軌是M7163
平面磨床上保證實(shí)現(xiàn)精密微量進(jìn)給的重要要素之一,雖有多種形式可供選擇,但
M7163平面磨床廠家采用得最為廣泛的是M7163平面磨床液體靜壓導(dǎo)軌和M
7163平面磨床氣浮導(dǎo)軌。前者的剛度可達(dá)6KN~8KN/µm,并能保證M7163平面磨床位移精度0.02µm~0.04µm/400mm行程;後者的剛度為1KN~2KN/µm,當(dāng)氣膜厚度為4µm~8µm時(shí),也能保證與M7163平面磨床液體靜壓導(dǎo)軌一樣的位移精度。M7163平面磨床液體靜壓和氣浮導(dǎo)軌的直線性均可高達(dá)0.02µm/100mm。
M7163平面磨床廠家在總體布局設(shè)計(jì)上,M7163平面磨床的結(jié)構(gòu)應(yīng)分成承載部分和計(jì)量部分。此時(shí),M7163平面磨床廠家所能實(shí)現(xiàn)的精度在很大程度上取決于測(cè)量M7163平面磨床系統(tǒng)的有效性。因此,M7163平面磨床廠家采用像激光干涉儀這樣的高精度、高分辨率的儀器作測(cè)量裝置,并將其單獨(dú)安裝在M7163平面磨床氣浮支承的計(jì)量支架上,而且不僅安裝測(cè)量M7163平面磨床裝置時(shí)要遵守阿貝原理,在更廣義理解上,也要遵守阿貝原理。阿貝原理要求,測(cè)量M7163平面磨床軸要接近于刀尖,以便消除按杠桿原理放大誤差的可能性。從這一立場(chǎng)出發(fā),M7163平面磨床導(dǎo)軌和測(cè)量M7163平面磨床裝置應(yīng)位于同一水平面上,在M7163平面磨床的承載系統(tǒng)中要避開采用懸伸和剛度不恒定的構(gòu)件。 在M7163平面磨床整體和M7163平面磨床各部件所完成的功能分配方面,在多數(shù)情況下,一臺(tái)M7163平面磨床只實(shí)現(xiàn)一種加工方法,每個(gè)部件也只完成一個(gè)固定的功能運(yùn)動(dòng)。這樣做的目的是簡(jiǎn)化M7163平面磨床結(jié)構(gòu)和更易于根據(jù)精度指標(biāo)進(jìn)行優(yōu)化,而M7163平面磨床廠家無(wú)需采取妥協(xié)(折衷)的辦法。――這一點(diǎn)是與目前一般M7163平面磨床的設(shè)計(jì)發(fā)展趨勢(shì)――復(fù)合化,擴(kuò)大工藝可能性――是不一樣的,或者說(shuō)是正好相反的。
M7163平面磨床廠家為了保證超精密加工的目標(biāo)順利實(shí)現(xiàn),M7163平面磨床廠家設(shè)計(jì)必須考慮采用主動(dòng)控制的隔振系統(tǒng)和在線的誤差自動(dòng)補(bǔ)償技術(shù)。這是因?yàn)楹茈y保證M7163平面磨床所要求的零件制造精度,同時(shí)也很難完全消除振動(dòng)和熱因素帶來(lái)的負(fù)面影響。